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镀膜前处理超声波清洗机

2021-09-10 17:43

在光学玻璃的背面,通过真空镀膜镀一层金属银(或铝)薄膜,使入射光反射的光学元件。采用高反射比的反射镜可使激光器的输出功率成倍提高;且是第一反射面反射,反射图像不失真、无重影。
 

一、光学元件(反射镜)有两道工艺流程:

1、镜片原材——清洗——真空镀膜——清洗——覆膜。

2、切割——倒边——清洗。
 

二、镀膜前处理超声波清洗机介绍

1、清洗原理:

超声波发生器也称作超声电源 , 它是一种用以产生超声频电能并向超声换 能器提供的装置 , 发生器产生电能提供给换能器 , 换能器将超声频电能转换成机械振动并通过清洗液辐射超声波 , 存在于液体中的微气泡在声波作用下振动 , 当声压或声强达到一定 值时 , 气泡迅速增长 , 然后突然闭合 , 在气泡闭合时产生冲击 波 , 这就所谓的超声空化物理现象 , 空化所产生巨大压力一方面破坏污物与基板表面吸附 ,另一方面增加了液体的摩擦,从而使工件表面的污垢能够迅速脱落,实现其高清洁度的目的。 在超声波作用下光学元件清洗只需两 、 三分钟即可完 成 , 其速度比传统方法可提高几倍到几十倍 , 清洁度也达到高标准 。


镀膜前处理超声波清洗工艺介绍
 

RO水漂洗槽:

每槽设四面溢流口,溢水槽宽35mm,各槽皆为独立循环槽,由循环泵将洗剂从储液箱抽出经过滤后再运回清洗槽,即字母槽循环。

设置独立循环过滤系统。

各槽底部设排液阀且互相串联至总排管。

槽内设温度感应器,温控范围:RT-100℃。

槽外设置抛动。
 

IPA超声槽:

清洗槽设有四周锯齿形溢流口,打磨倒角毛刺,可迅速均匀将清洗剂表面漂浮物排除,同时溢流液体进入储液槽,经循环过滤后循环使用。槽底设排液阀,可通过手动球阀将液体排入前一槽储液箱或直接经IPA专用管道排出。
 

蒸汽浴洗慢拉干燥槽:

蒸汽浴洗的加热方式采用高温油外包间接加热,由于高温油加热温度高,且对IPA加热密度均匀,因此可以获得均匀、足够的蒸汽密度,获得良好的蒸浴效果和干燥效果。又因是外包间接加热,安全性高。

为减少挥发,降低使用成本,防止异味溢出,又可获得良好的冷却干燥效果,因此,在上部设足够冷却区间,由10HP冷水机提供冷水源,同时提供各槽储液箱内冷排管的冷却。

IPA由于易溶于水,一定时间后浓度会降低,为保证蒸浴和干燥效果,需要定时更换IPA溶液。更换时可以通过球阀控制,排放到废液箱。
 

拉提升机构原理:

高精度表面清洗除前面需要有合理的清洗工艺和配置外,更需要良好的脱水效果。工件表面如果有任何垢点或积水点,最后都将导致镀膜失败。IPA有较高的沸点,又能较好的溶于水,经过前面IPA的有效脱水和该槽的蒸汽浴洗,工件表面已存IPA,经过高温后有效的散失,即可实现表面高清洁度和干燥之目的。
 

抛动机构原理:

清洗过程中工件作均匀地抛动,可以增加工件与液体的磨擦,有利于表面污垢迅速脱落,提高清洗效果。